在半導(dǎo)體制造、制藥等領(lǐng)域，一滴水中的細(xì)微雜質(zhì)都可能帶來巨大損失

在制造業(yè)和科研領(lǐng)域，超純水的質(zhì)量直接關(guān)系到產(chǎn)品的性能和良率。作為水質(zhì)監(jiān)測領(lǐng)域的企業(yè)，日本HORIBA堀場推出的系列電阻率計(jì)，憑借其精密測量性能和的穩(wěn)定性，成為半導(dǎo)體、制藥、電子等行業(yè)超純水監(jiān)測的理想選擇。

技術(shù)原理：精確測量背后的科學(xué)

HORIBA電阻率計(jì)采用雙電極法進(jìn)行測量，通過連接專門的電阻率傳感器（ERF系列），精確測量水樣中的電阻率和溫度參數(shù)。

這些設(shè)備的核心優(yōu)勢在于其高精度的溫度補(bǔ)償功能。由于水的電阻率隨溫度變化極為敏感，HORIBA電阻率計(jì)使用鉑電阻溫度計(jì)（Pt 1000Ω）作為溫度補(bǔ)償元件，能夠根據(jù)超純水的溫度特性，自動將測量值補(bǔ)償?shù)絽⒖紲囟龋ㄍǔ?5℃）下的電阻率值。

更值得一提的是，用戶可以自由設(shè)置溫度補(bǔ)償?shù)臉?biāo)準(zhǔn)溫度值，滿足特定條件的測量需求，如測量溫?zé)崛ルx子水等特殊應(yīng)用場景。

產(chǎn)品系列：滿足多樣化需求

HORIBA提供了多種型號的電阻率計(jì)，以適應(yīng)不同的安裝環(huán)境和使用需求。以下是其主要產(chǎn)品系列：

HE-480R：面板安裝型四線制傳輸

HE-480R是一款面板安裝型電阻率計(jì)，采用四線制傳輸方式，提供高精度溫度補(bǔ)償功能。

• 測量范圍：電阻率覆蓋0-100.0 MΩ?cm，溫度測量范圍0-100℃

• 主要特點(diǎn)：小巧的體積，高的超純水測量精度，以及先進(jìn)的溫度補(bǔ)償算法

• 適用場景：半導(dǎo)體、電子、食品和制藥行業(yè)的UPW（超純水）連續(xù)監(jiān)測

HE-300R：現(xiàn)場安裝型二線制傳輸

HE-300R是專為現(xiàn)場安裝設(shè)計(jì)的電阻率計(jì)，采用二線制傳輸，適合惡劣工業(yè)環(huán)境。

• 堅(jiān)固設(shè)計(jì)：工作溫度范圍-20~60℃，防護(hù)等級IP65，符合CE標(biāo)記和FCC規(guī)則

• 智能功能：同時顯示液體溫度，具備自診斷功能，可即時檢測傳感器錯誤

• 電源特性：采用24V DC供電，功耗僅0.6W或更低，節(jié)能高效

HE-960RW：雙通道高性能型號

HE-960RW是一款面板安裝型雙通道電阻率計(jì)，支持同時測量兩個點(diǎn)位的水質(zhì)參數(shù)。

• 雙通道設(shè)計(jì)：可連接兩個傳感器同時測量，實(shí)現(xiàn)高性能、高精度和總體成本降低

• 通信能力：配備RS-485通信功能，便于系統(tǒng)集成

• 性能：在15°C~35°C水溫范圍內(nèi)，能將18 MΩ·cm電阻率范圍內(nèi)的測量值波動控制在最小0.02 MΩ·cm范圍內(nèi)

GC-96RW：超純水專用雙通道電阻率計(jì)

GC-96RW是專為超純水測量設(shè)計(jì)的雙通道電阻率計(jì)，可連接兩種不同檢測單元常數(shù)的傳感器。

• 靈活性：同時支持檢測單元常數(shù)0.1/cm和0.01/cm的傳感器

• 應(yīng)用覆蓋：既可連接超純水設(shè)備中使用的鈦檢測單元，也可連接清洗裝置中使用的碳檢測單元

• 高精度溫度測量：具備可輸入鉑測量電阻元件偏差功能，不必進(jìn)行溫度校正就能獲得±0.2℃以內(nèi)的溫度測量精度

技術(shù)優(yōu)勢：精準(zhǔn)可靠的測量保障

HORIBA電阻率計(jì)在超純水測量領(lǐng)域展現(xiàn)出多項(xiàng)技術(shù)優(yōu)勢：

1. 高精度測量與穩(wěn)定性

HORIBA電阻率計(jì)具有的測量重復(fù)性和線性度。以HE-480R為例，其重復(fù)性和線性均達(dá)到≤±0.5%F.S.（等效輸入），確保長期測量的可靠性。

HE-960RW更進(jìn)一步，將重復(fù)性提高至≤±0.1%F.S.，能夠檢測極微小的水質(zhì)變化。

2. 靈活的輸出與報(bào)警功能

這些電阻率計(jì)提供多種輸出選項(xiàng)和報(bào)警功能，便于系統(tǒng)集成和過程控制。

HE-480R提供1點(diǎn)4~20mA DC傳輸輸出和2點(diǎn)觸點(diǎn)輸出，可用于上下限控制、故障警報(bào)和維護(hù)操作。

HE-960RW則提供2點(diǎn)4~20mA DC輸出和4個獨(dú)立的觸點(diǎn)報(bào)警，滿足更復(fù)雜的監(jiān)控需求。

3. 先進(jìn)的自我診斷功能

HORIBA電阻率計(jì)內(nèi)置自診斷系統(tǒng)，能夠?qū)崟r監(jiān)測設(shè)備狀態(tài)，及時發(fā)現(xiàn)傳感器故障、溫度傳感器短路和斷線等問題。

這一功能大大減少了意外停機(jī)時間，提高了系統(tǒng)的整體可靠性。

4. 環(huán)境友好設(shè)計(jì)

所有HORIBA電阻率計(jì)均采用無鉛焊接工藝，符合RoHS指令，減少了對環(huán)境的影響。

應(yīng)用領(lǐng)域：關(guān)鍵行業(yè)的守護(hù)者

HORIBA電阻率計(jì)在多個關(guān)鍵行業(yè)發(fā)揮著重要作用：

半導(dǎo)體制造業(yè)

在半導(dǎo)體制造過程中，超純水的質(zhì)量直接影響芯片的良率和性能。HORIBA電阻率計(jì)能夠連續(xù)監(jiān)測UPW水質(zhì)，確保清洗工藝的效果。

制藥行業(yè)

制藥工藝用水對水質(zhì)有嚴(yán)格要求。HORIBA電阻率計(jì)提供的高精度測量，確保制藥用水符合相關(guān)藥典標(biāo)準(zhǔn)。

食品與飲料行業(yè)

食品飲料生產(chǎn)過程中，水質(zhì)是影響產(chǎn)品安全的重要因素。HORIBA電阻率計(jì)幫助生產(chǎn)企業(yè)監(jiān)控水質(zhì)純度，保障產(chǎn)品安全。

電力與能源行業(yè)

發(fā)電廠特別是核電站的水質(zhì)控制對設(shè)備安全和效率至關(guān)重要。HORIBA電阻率計(jì)為這些行業(yè)提供了可靠的水質(zhì)監(jiān)測方案。

創(chuàng)新與發(fā)展：面向未來的技術(shù)演進(jìn)

隨著工業(yè)4.0和物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的快速發(fā)展，HORIBA電阻率計(jì)正朝著更高智能化、更強(qiáng)集成能力的方向發(fā)展：

• 通信能力增強(qiáng)：新型號如HE-960RW已配備RS-485通信功能，支持更便捷的系統(tǒng)集成和數(shù)據(jù)傳輸

• 多參數(shù)監(jiān)測：趨勢表明，電阻率計(jì)正從單一參數(shù)測量向多參數(shù)集成監(jiān)測發(fā)展，滿足復(fù)雜工藝的監(jiān)控需求

• 遠(yuǎn)程監(jiān)控與維護(hù)：借助物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)，HORIBA電阻率計(jì)逐步實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和維護(hù)功能，降低運(yùn)營成本

總結(jié)

日本HORIBA堀場電阻率計(jì)憑借其精密測量能力、可靠穩(wěn)定性和廣泛適應(yīng)性，已成為超純水監(jiān)測領(lǐng)域的產(chǎn)品。

無論是半導(dǎo)體行業(yè)的純度要求，還是制藥食品行業(yè)的品質(zhì)管控需求，HORIBA都能提供量身定制的解決方案。

隨著工業(yè)技術(shù)不斷發(fā)展，對水質(zhì)測量的要求將愈發(fā)嚴(yán)格，HORIBA電阻率計(jì)將繼續(xù)在水質(zhì)監(jiān)測領(lǐng)域發(fā)揮關(guān)鍵作用，為各行業(yè)提供可靠、精確的測量保障。