在半導(dǎo)體制造、科研實驗和工業(yè)生產(chǎn)中，精確的真空測量至關(guān)重要。日本佐藤真空（SATOVAC INC.）憑借其約90年的專業(yè)技術(shù)積累，推出的PHIL皮拉尼真空計系列，以其的性能和可靠的穩(wěn)定性，成為全球真空測量領(lǐng)域的重要選擇。

01 產(chǎn)品概述與技術(shù)原理

真空技術(shù)作為支撐宇宙開發(fā)、半導(dǎo)體、平板顯示器、能源、醫(yī)療等廣泛產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)技術(shù)，其測量精度直接關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量與科研進展。

佐藤PHIL皮拉尼真空計正是基于這一需求而設(shè)計的精密測量儀器，采用先進的熱傳導(dǎo)原理，為用戶提供精準、可靠的真空壓力測量解決方案。

皮拉尼真空計的核心原理基于氣體分子的熱傳導(dǎo)特性。其基本構(gòu)造包含金屬圓筒內(nèi)部設(shè)有一根白金細線，兩端連接電極。

當電流通過白金細線時，細線會發(fā)熱，其熱量會通過三種方式被帶走：氣體分子碰撞白金細線（Qg）、熱輻射（Qr）以及通過固體熱傳導(dǎo)（Qs）。

在平衡狀態(tài)下，滿足以下公式：
Q = I2R = Qg + Qr + Qs

當氣體的平均自由行程比細線的直徑大很多時，Qg可以通過自由分子的熱傳導(dǎo)表示為：
Qg = αΛπda(T－T?)p

其中T和T?分別為細線和金屬圓筒的溫度，P為氣體壓力，a是細線長度。

通過保持T和T?一定，可以將固體熱傳導(dǎo)和熱輻射視為常數(shù)，從而建立起電流與壓力之間的直接關(guān)系，實現(xiàn)真空壓力的精確測量。

02 產(chǎn)品系列與型號參數(shù)

佐藤PHIL皮拉尼真空計提供多種型號，滿足不同應(yīng)用場景和精度要求。以下是主要型號的技術(shù)參數(shù)對比：

從表中可以看出，佐藤PHIL皮拉尼真空計系列覆蓋了從大氣壓到高真空（1×10?～1.3×10?1Pa） 的廣泛測量范圍，能夠滿足大多數(shù)工業(yè)應(yīng)用的需求。

數(shù)字型號提供更豐富的顯示方式和擴展功能，而模擬型號則以其簡潔可靠的特點適用于基礎(chǔ)應(yīng)用場景。

03 核心技術(shù)特點與創(chuàng)新

佐藤PHIL皮拉尼真空計融合了多項創(chuàng)新技術(shù)，使其在真空測量領(lǐng)域脫穎而出：

寬范圍測量與自動切換

PG-D5A型號具備6個量程自動切換功能，測量范圍從1×10?Pa（接近大氣壓）至1.3×10?1Pa。

這種寬范圍覆蓋能力使得用戶無需在不同真空階段更換測量設(shè)備，大大提高了工作效率。

智能化顯示與操作系統(tǒng)

數(shù)字型號采用數(shù)字和條形圖雙重顯示方式，使壓力信息以易于理解的方式呈現(xiàn)。

用戶可以同時讀取精確的數(shù)字值和直觀的趨勢圖，便于快速判斷系統(tǒng)狀態(tài)。

強大的擴展與通信功能

PG-D5A和PG-20B等型號配備了通信功能和BNC輸出等擴展功能，可用于各種控制、FA系統(tǒng)等多種用途。

PG-20B可以將六個設(shè)定點自由分配給觸點輸出，并配備了可選的擴展功能，如3ch傳感器、通信功能和BCD輸出。

穩(wěn)定可靠的硬件設(shè)計

模擬型號PG-2BM采用固態(tài)電路設(shè)計，即使在電壓波動（90至110V）的情況下也能保持穩(wěn)定運行。

這種設(shè)計提高了設(shè)備在工業(yè)環(huán)境中的適應(yīng)性，確保在不太理想的電力條件下仍能提供準確測量。

靈活安裝與溫度補償

所有型號均采用標準化測頭設(shè)計，安裝φ15mm測頭口，便于集成到各種真空系統(tǒng)中。

先進的溫度補償技術(shù)有效減少了環(huán)境溫度變化對測量精度的影響，確保讀數(shù)的準確性。

04 應(yīng)用領(lǐng)域與典型案例

佐藤PHIL皮拉尼真空計憑借其性能和可靠性，在多個關(guān)鍵工業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用：

半導(dǎo)體與電子制造

在半導(dǎo)體前端處理、液晶顯示面板制造過程中，精確的真空控制是保證產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。

皮拉尼真空計用于監(jiān)控濺射、CVD、蝕刻等工藝環(huán)節(jié)的真空度，確保工藝條件穩(wěn)定可靠。

科研與實驗裝置

佐藤真空技術(shù)為基礎(chǔ)科學(xué)的研究開發(fā)做出貢獻。在表面物理、核能、航天等研究領(lǐng)域，皮拉尼真空計提供精確的真空測量，為科學(xué)研究提供可靠數(shù)據(jù)支持。

醫(yī)療與食品工程

在醫(yī)療衛(wèi)生、化工領(lǐng)域，特別是冷凍干燥、滅菌工藝中，皮拉尼真空計用于監(jiān)控工藝過程中的真空度，確保產(chǎn)品質(zhì)量和工藝重現(xiàn)性。

工業(yè)制造與真空冶金

在真空冶金和機械工業(yè)中，皮拉尼真空計適用于有大量放氣和經(jīng)常暴露于大氣的真空設(shè)備的測量，提供快速、可靠的真空度監(jiān)測。

能源與航空航天

在能源領(lǐng)域和航空航天行業(yè)中，真空技術(shù)對產(chǎn)品性能和可靠性至關(guān)重要，皮拉尼真空計在這些領(lǐng)域提供必要的測量保障。

05 真空計選型指南

選擇合適的真空計對于確保測量效果至關(guān)重要。以下是一些關(guān)鍵選型考慮因素：

測量范圍需求

根據(jù)應(yīng)用場景確定需要的測量范圍：

• 粗真空測量（10?～102Pa）：可選PG-2BM或PG-3FM

• 中高真空測量（102～10?1Pa）：可選PG-D5A或PG-20B

顯示與控制需求

• 基礎(chǔ)應(yīng)用：模擬顯示（PG-2BM，PG-3FM）提供經(jīng)濟實用的解決方案

• 復(fù)雜工藝控制：數(shù)字顯示（PG-D5A，PG-20B）提供更豐富的功能和更直觀的顯示

環(huán)境適應(yīng)性

• 電源穩(wěn)定性差的環(huán)境：選擇具有固態(tài)電路設(shè)計的PG-2BM，可在電壓波動下穩(wěn)定運行

• 需要遠程控制的場景：選擇帶有通信功能的PG-D5A或PG-20B

氣體成分考量

不同氣體的熱導(dǎo)率不同，因此在測量的時候要刻度上需要校對。對于特殊氣體環(huán)境，需要根據(jù)氣體類型進行校準，以獲得準確測量結(jié)果。

06 操作維護與故障排除

正確的操作和維護對于保證真空計的長期穩(wěn)定運行至關(guān)重要：

安裝注意事項

• 確保測頭正確安裝到φ15mm測頭口，保證良好密封

• 為設(shè)備提供穩(wěn)定、符合要求的電源（根據(jù)型號提供AC100V或AC100V~240V）

• 保證設(shè)備周圍有足夠的散熱空間，避免高溫環(huán)境影響測量精度

日常維護要點

• 定期檢查測頭和相關(guān)連接部件，確保無泄漏

• 保持設(shè)備清潔，防止灰塵積累影響散熱

• 對于關(guān)鍵應(yīng)用，建議定期校準以確保測量精度

常見故障處理

• 讀數(shù)不穩(wěn)定：檢查電源穩(wěn)定性，確認測頭安裝牢固

• 測量偏差：檢查系統(tǒng)是否存在泄漏，確認測頭是否需要清潔

• 通信故障：檢查連接線纜，確認通信設(shè)置是否正確

07 市場前景與發(fā)展趨勢

隨著半導(dǎo)體、新能源、航空航天等高科技產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對真空測量技術(shù)的需求持續(xù)增長：

技術(shù)融合與智能化

真空計正朝著智能化、網(wǎng)絡(luò)化方向發(fā)展，集成更多傳感器和數(shù)據(jù)通信功能，如PG-D5A和PG-20B已具備的通信功能和BCD輸出。

精度與可靠性提升

基于約90年的專業(yè)技術(shù)積累，佐藤真空繼續(xù)磨練真空泵、真空計測器、產(chǎn)生各種真空部件的組件技術(shù)，致力于提高產(chǎn)品的精度和可靠性。

應(yīng)用領(lǐng)域擴展

真空計的應(yīng)用正從傳統(tǒng)工業(yè)領(lǐng)域向醫(yī)療、食品、環(huán)境監(jiān)測等新領(lǐng)域擴展，佐藤真空將其技術(shù)應(yīng)用于所有真空裝置群。

08 結(jié)語

佐藤PHIL皮拉尼真空計系列以其的技術(shù)性能、廣泛的產(chǎn)品適應(yīng)性和可靠的使用壽命，在全球真空測量領(lǐng)域確立了其重要地位。

從基礎(chǔ)模擬型號到數(shù)字型號，從半導(dǎo)體制造到科研實驗，佐藤產(chǎn)品都能提供精準、高效的真空測量解決方案。

隨著工業(yè)技術(shù)的不斷發(fā)展，佐藤真空將繼續(xù)秉持創(chuàng)新精神和質(zhì)量至上的理念，利用多年的經(jīng)驗運用「真空的匠的技能」，制作顧客「想長時間持續(xù)使用」的產(chǎn)品。

為全球客戶提供更加優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)，助力各行業(yè)實現(xiàn)更高效、更精確的真空過程控制。