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        日本ULVAC愛發(fā)科半導體中電流離子注入機
        簡要描述:

        日本ULVAC愛發(fā)科SME-3500半導體中電流離子注入機
        日本ULVAC愛發(fā)科半導體中電流離子注入機

        • 產(chǎn)品型號:SME-3500
        • 廠商性質:代理商
        • 更新時間:2025-10-14
        • 訪  問  量:1231

        詳細介紹

        日本ULVAC愛發(fā)科半導體中電流離子注入機

        日本ULVAC愛發(fā)科半導體中電流離子注入機


        用于研究和開發(fā)的中電流離子注入機SME-3500

        中電流離子注入機IMX-3500是一款最高能量為200kV、晶圓尺寸最大為8英寸的離子注入機,非常適合大學的研發(fā)。


        特征

        • 最大晶圓尺寸為8英寸,配備可處理不規(guī)則形狀基板的壓板。

        • 除了氣體源之外,固體蒸發(fā)源也可用于易于安全處理 B、P 和 As 離子的離子源。

        • 高壓端子部分與量產(chǎn)設備配置相同,確保高可靠性。

        規(guī)格

        活力30 至 200keV(可選 3 至 200keV)
        最大束流11B+ 400μA(200keV)
        31P+ 600μA(200keV)
        最小束流150納安
        離子種類B、P、As、Si、Ge、Sb、In 他









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