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詳細介紹
日本ULVAC愛發科半導體間歇式真空熱處理爐
日本ULVAC愛發科半導體間歇式真空熱處理爐
可廣泛用于各種金屬零件的淬火、回火、退火、釬焊、燒結等真空熱處理。
采用高壓、大流量惰性氣體冷卻機構，可實現金屬零件的高速淬火。
水冷套結構可隔離爐內熱量，減少熱量對工作環境的影響。
*本產品目前由海外集團公司生產。
最高溫度：1300℃
常溫：500℃~1250℃
均勻溫度：1150℃±5℃
能夠對金屬零件進行高速淬火
水冷夾套結構，保持工作環境清潔
標準使用鉬加熱器。還提供碳加熱器規格
通過在爐內使用所有金屬，減少了碳粉對質量的影響。
| 爐型 | 3-L05 | 4-L06 | 6-L09 | 6-L12 | 6-L14 | 8-L12 | 10-L15 | 12-L18 | 評論 | ||
| 表現 | 浸泡尺寸 | 寬度 [毫米] | 300 | 400 | 600 | 600 | 600 | 800 | 1000 | 1200 | |
| 高度 [毫米] | 300 | 400 | 600 | 600 | 600 | 800 | 1000 | 1200 | |||
| 深度 [毫米] | 450 | 600 | 900 | 1200 | 1400 | 1200 | 1500 | 1800 | |||
| 標準加工重量[kg] | 100 | 200 | 500 | 500 | 1000 | 1200 | 1500 | 2500 | 包括托盤重量 | ||
| 溫度 | 最高溫度[℃] | 1300 | |||||||||
| 常用溫度[℃] | 500～1250 | ||||||||||
| 均勻溫度[℃] | 1150±5 | 空爐中5點/9點測量 | |||||||||
| 真空 | 極限壓力 [Pa] | 3×10 -3 Pa以下 | 空爐脫氣后，室溫 | ||||||||
| 泄漏量[Pa·m 3 /秒] | 8.5×10 -4以下 | ||||||||||
| 冷卻 | 冷卻時間 [分鐘] | 30/25以內 | 35/25以內 | 45/40以內 | 50以內 | 1150℃至150℃ | |||||
| 冷卻氣體壓力 [MPa 絕對] | 0.09/0.29 | 0.09 | 取決于所需規格 | ||||||||
| 使用規格 | 安裝尺寸 | 寬度 [米] | 2.8 | 3.4 | 5.0 | 5.0 | 5.0 | 5.2 | 5.5 | 5.5 | |
| 深度 [米] | 3.0 | 4.0 | 6.0 | 6.0 | 6.0 | 6.0 | 7.0 | 7.5 | |||
| 高度[米] | 2.5 | 3.2 | 3.2 | 3.2 | 3.2 | 4.5 | 4.5 | 5.5 | |||
| 電容量[kVA] | 85 | 145 | 220 | 220 | 第232章 | 240 | 第470章 | 600 | |||
| 冷卻水量[m 3 /hr] | 10 | 15 | 20 | 20 | 20 | 30 | 40 | 45 | |||
| 惰性氣體量[m 3 /次] | 1.5/4.4 | 3/9 | 7/21 | 7/21 | 8/24 | 9/27 | 13/39 | 18 | |||
| 壓縮空氣氣量[NL/min] | 260 | 600 | 600 | 600 | 600 | 960 | 960 | 1500 | |||
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