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        日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科羅茨泵密閉式電機(jī)
        簡要描述:

        日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科PRC-003A PRC-006A 羅茨泵密閉式電機(jī)
        日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科羅茨泵密閉式電機(jī)

        • 產(chǎn)品型號:PRC-003A PRC-006A
        • 廠商性質(zhì):代理商
        • 更新時間:2025-10-14
        • 訪  問  量:612

        詳細(xì)介紹

        日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科羅茨泵密閉式電機(jī)

        日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科羅茨泵密閉式電機(jī)


        PRC系列是機(jī)械增壓泵,主要設(shè)計用于對清潔度要求特別高的半導(dǎo)體和液晶制造工藝。
        采用封閉式電機(jī),軸封不會漏油。也可選擇大氣壓驅(qū)動型。

        特征

        • 由于無油
          殼體腔內(nèi)沒有潤滑油,因此即使面對水蒸氣、溶劑等蒸汽也能發(fā)揮穩(wěn)定的性能。

        • 采用屏蔽電機(jī)
          通過采用屏蔽電機(jī),我們能夠消除空氣/真空機(jī)械密封??梢栽谇鍧嵉沫h(huán)境中使用,不用擔(dān)心漏油。

        • 表面處理,耐腐蝕性能優(yōu)異
          主要部件均經(jīng)過陽極氧化鋁處理,表面硬度高,耐腐蝕性能優(yōu)異,可防止泵內(nèi)部劃傷和腐蝕。也可以選擇不進(jìn)行表面處理。


        • 由于可以與大氣壓驅(qū)動(變頻選項:變頻)低真空泵同時啟動,可有效縮短抽氣時間,因此與標(biāo)準(zhǔn)型相比,可縮短抽氣時間。

        • 除了標(biāo)準(zhǔn)選項和特殊應(yīng)用選項外
          ,我們還提供特殊應(yīng)用型號。

        使用示例類型(種類)適用型號表面處理
        通過空氣或惰性氣體排氣表面處理
        提高抗異物能力
        標(biāo)準(zhǔn)PRC-003A、PRC-006A、
        PRC-012A、PRC-018A
        ○ *1R-42
        礦物油

        當(dāng)您想抑制空氣或惰性氣體排氣水分吸附對極限壓力的影響時
        XPRC-003A-X、PRC-006A-X、
        PRC-012A-X、PRC-018A-X
        ?R-42
        礦物油

        表面處理可防止油因腐蝕性氣體、可燃?xì)怏w和氧化性氣體而劣化,從而提高抗異物強(qiáng)度
        FPRC-003A-F、PRC-006A-F、
        PRC-012A-F、PRC-018A-F
        J25F *2
        氟油

        *1 如果進(jìn)行表面處理,排氣時間可能會受到吸濕釋放氣體的影響。
        *2 組裝檢查將使用氟油進(jìn)行,但不包括在內(nèi)。如有需要,將另行安排。


        目的

        • 氣相沉積、濺射、離子鍍

        • 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣

        • 分析設(shè)備、檢漏設(shè)備

        • 氣體置換、填充、真空絕熱

        • 熱處理爐、熔煉爐

        • 其他各種真空裝置

        規(guī)格

        型號*1PRC-003APRC-006APRC-012APRC-018A
        最大抽速50赫茲280 立方米/小時
        (4670 升/分鐘)
        500立方米/小時
        (8330升/分鐘)
        1000立方米/小時
        (16700升/分鐘)
        1500立方米/小時
        (25000升/分鐘)
        60赫茲330立方米/小時
        (5500升/分鐘)
        600立方米/小時
        (10000升/分鐘)
        1200立方米/小時
        (20000升/分鐘)
        1800立方米/小時
        (30000升/分鐘)
        最大吸氣壓力50赫茲1.2 × 103帕1.3× 1031.2 × 103帕
        60赫茲9.3 × 102帕1.1 × 103帕9.3 × 102帕
        最大允許壓差50赫茲4.0 × 103Pa7.3 × 103帕4.3 × 103帕
        60赫茲3.3× 1036.0 × 103Pa3.2 × 103帕
        極限壓力*24.0 × 10-1Pa6.7 × 10-1Pa
        可驅(qū)動壓力~1.0 x 10 5 Pa(大氣壓驅(qū)動型)
        電機(jī)*3格式屏蔽式三相異步電動機(jī)
        高效率等級-
        輸出0.75千瓦(2極)2.2千瓦(2極)3.7千瓦(2極)5.5千瓦(2極)
        電壓
        (200V級電機(jī))
        50赫茲200V
        60赫茲200/220V
        使用油*4
        ULVOIL R-42
        所需油量  0.7升1.5升1.9升
        冷卻方式  水冷
        冷卻水一次壓力0.3兆帕
        入口/出口壓差0.01MPa以上
        冷卻水量2升/分鐘3升/分鐘
        冷卻水溫度*55~30℃
        進(jìn)氣直徑 JIS-B-2290相當(dāng)于VG80相當(dāng)于VG100相當(dāng)于VG150
        排氣直徑 JIS-B-2290相當(dāng)于VF80相當(dāng)于VF100
        外形尺寸W×D×H *6296×575×260毫米356×619×320毫米406×759×340毫米406×989×340毫米
        大量的51公斤86公斤118公斤150公斤
        標(biāo)準(zhǔn)輔助泵VD60CVD90C
        VS2401
        VS2401
        標(biāo)準(zhǔn)配件1 本使用說明書、1 單位油

        注)本規(guī)格表采用SI單位制。非 SI 單位的換算如下。
          4.0×10 -1 帕 = 3.0× 10 -3

        *1 標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品經(jīng)過表面處理(陽極氧化涂層)。 您也可以選擇不進(jìn)行表面處理。
        *2 用皮拉尼真空計測量(輔助泵和使用的油是標(biāo)準(zhǔn)的)。
        *3 不兼容隔爆和防爆結(jié)構(gòu)。
        *4 可選擇氟油(J25F)。
        *5 請在無結(jié)露的環(huán)境下使用。
        *6 對于其他尺寸,請檢查我們網(wǎng)站上發(fā)布的 CAD 數(shù)據(jù)。


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