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        HORIBA堀場微流量壓力不敏感質量流量計
        簡要描述:

        HORIBA堀場D700uF微流量壓力不敏感質量流量模塊
        HORIBA堀場微流量壓力不敏感質量流量模塊

        • 產品型號:D700uF
        • 廠商性質:代理商
        • 更新時間:2025-02-12
        • 訪  問  量:164

        詳細介紹

        HORIBA堀場微流量壓力不敏感質量流量模塊

        HORIBA堀場微流量壓力不敏感質量流量模塊

        D700uF


        微流量壓力不敏感質量流量模塊

        D700uF(Micro Flow) 專為 ≤ 5SCCM 流量應用而設計。
        ≤ 5SCCM 流量控制在高縱橫比工藝中一直非常關鍵。
        專用組件和新開發的內部低流量標準可實現低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。

        • 低至 0.025SCCM 的流量控制能力

          • 精確的調諧氣體控制,增強工藝可調性

        • ≤ 100ms 升壓響應和 MFC 到 MFC 偏差控制

          • 提供高生產率和更好的過程性能

        • 內部流量計量

          • 所有制造產品的性能可靠

        • 狀態監控功能

          • 提供更多內部數據,實現更智能的故障預測

        • PFA 噴嘴具有更好的閥門關閉和耐腐蝕性

          • 堅固耐用,顆粒風險更低,減少停機時間并優化產量


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