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        HORIBA堀場高速和精密壓力不敏感質量流量計
        簡要描述:

        HORIBA堀場D700MG高速和精密壓力不敏感質量流量計
        HORIBA堀場高速和精密壓力不敏感質量流量計

        • 產品型號:D700MG
        • 廠商性質:代理商
        • 更新時間:2025-02-12
        • 訪  問  量:187

        詳細介紹

        HORIBA堀場高速和精密壓力不敏感質量流量計

        HORIBA堀場高速和精密壓力不敏感質量流量計

        高速和精密壓力不敏感質量流量模塊

        關鍵的半導體制造工藝不斷需要精密的氣體流量控制器件,這些器件既能實現未來的創新,又能實現前沿存儲器和邏輯器件從實驗室到晶圓廠的過渡。HORIBA 提出了新的基于壓力的 MFC D700MG,這是 D500MG 的上部兼容型號,以支持客戶的挑戰

        • 機上氣體和滿量程配置更改 *僅限 EtherCAT

          • 為流程優化提供靈活性

        • 100ms 升壓響應和 MFC 到 MFC 偏差控制

          • 提供高生產率和更好的過程性能

        • 用于小流速的 MRMG 功能 (Bin101 – Bin105)

          • 為需要小流速的工藝提供靈活性

        • PFA 噴嘴具有更好的閥門關閉和耐腐蝕性

          • 堅固耐用,顆粒風險更低,減少停機時間并優化產量

        • 狀態監控器功能

          • 提供更多內部數據,實現更智能的故障預測


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