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        HORIBA堀場全新壓力不敏感質量流量模塊
        簡要描述:

        HORIBA堀場CRITERION D500全新壓力不敏感質量流量模塊
        HORIBA堀場全新壓力不敏感質量流量模塊

        • 產品型號:CRITERION D500
        • 廠商性質:代理商
        • 更新時間:2025-02-12
        • 訪  問  量:164

        詳細介紹

        HORIBA堀場全新壓力不敏感質量流量模塊

        HORIBA堀場全新壓力不敏感質量流量模塊

        壓力不敏感質量流量模塊

        這種的壓力不敏感質量流量模塊安裝了差壓檢測和壓電執行器閥。

        CRITERION D500 提供的高性能確保其可用于一系列優良的半導體制造工藝;壓力不敏感、多量程/多氣體/多壓力、G-LIFE(綜合限流器方程的氣體定律檢查)自診斷功能,精度高,響應快,量程寬,全金屬。

        • 壓力不敏感性能
          新的高性能壓力不敏感功能提供了簡化的供氣系統

        • 多量程、多氣體、多壓力解決方案
          新功能允許用戶更改氣體類型、滿量程流量和供氣壓力范圍

        • G-LIFE(集成限流器方程的氣體定律檢查)自診斷功能
          優良的過程健康監測功能允許作員進行自己的測試,通常在 3 秒或更短的時間內,以提高吞吐量

        • 高精度
          通過優良的三維調整提高了工藝氣體的流量精度

        • 快速響應
          響應:< 0.8 秒
          可實現準確、穩定的流量控制

        • 動態范圍
          寬控制范圍:0.2% F.S. 至 100% F.S.


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