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        HORIBA堀場全新排氣壓力控制器玉科精品優(yōu)選
        簡要描述:

        HORIBA堀場FS-3000全新排氣壓力控制器玉科精品優(yōu)選
        HORIBA堀場全新排氣壓力控制器玉科精品優(yōu)選

        • 產(chǎn)品型號:FS-3000
        • 廠商性質(zhì):代理商
        • 更新時間:2025-10-14
        • 訪  問  量:420

        詳細(xì)介紹

        HORIBA堀場全新排氣壓力控制器玉科精品優(yōu)選

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        排氣壓力控制器

        EC-5000 系列排氣壓力控制器可以在腔室內(nèi)保持一致的壓力,由用戶選擇。高分辨率步進(jìn)電機(jī)和的蝶閥確保對任何壓力變化做出快速、靈敏的響應(yīng)。

        好處:

        • 適用于高真空:不銹鋼機(jī)身

        • 耐腐蝕:還提供帶 PTFE 主體的型號

        • 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)。

        當(dāng)排氣流量調(diào)整到優(yōu)良水平時:

        • 光刻膠分布在均勻的薄膜中

        • 防止油霧的二次沉積

        • 防止危險(xiǎn)蒸氣的擴(kuò)散。

        與流量傳感器控制相比,由于光刻膠和其他污染的積累引起的靈敏度變化較小,并且消除了湍流和其他噪聲的影響,從而實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定、響應(yīng)性的控制。


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