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詳細介紹
HOBIBA堀場玉科全新自動范圍切換濃度監測器
HOBIBA堀場玉科全新自動范圍切換濃度監測器
在線傳感器和自動范圍切換濃度監測器
傳感器與 PFA(全氟烷氧基)接液部件相結合,尺寸優化到絕對極限。它還可以處理高達 50% HF 濃度的大范圍測量,符合半導體工藝的衛生要求。
寬范圍兼容
從低濃度到高濃度(高達 50% HF 濃度)的自動量程功能可在每個目標濃度下實現最佳測量性能。
無污染
采用具有衛生結構的傳感器,僅使用 PFA 作為接液材料。作為一種耐化學腐蝕的傳感器,它能夠測量半導體工藝中使用的各種化學品。
高穩定性/再現性精度
它實現了 ±0.5% FS 的重現精度。
型號名稱 | HF-960EM 系列 |
---|---|
測量范圍 | HF: 0 - 50%, HCl: 0 - 10%, 電導率: 0 - 2000 mS/cm |
重復性 | +/- 0.5% F.S.(等效輸入) |
線性 | +/- 0.5% F.S.(等效輸入) |
傳輸輸出 | 輸出數量:4 |
觸點輸出 | 輸出:5 點 |
通信輸出 | RS-485 系列 |
電源 | 直流 24 伏 +/- 10% 15W |
兼容的傳感器 | CM-520 系列 |
傳感器的接液材料 | PFA 系列 |
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