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        HORIBA堀場全新混合注入系統液體汽化器
        簡要描述:

        HORIBA堀場全新MV-2000混合注入系統液體汽化器
        HORIBA堀場全新混合注入系統液體汽化器

        • 產品型號:MV-2000
        • 廠商性質:代理商
        • 更新時間:2025-02-19
        • 訪  問  量:302

        詳細介紹

        HORIBA堀場全新混合注入系統液體汽化器

        HORIBA堀場全新混合注入系統液體汽化器

        MV-2000 系列混合注入系統液體汽化器

        MV-2000 系列采用新的螺旋流加熱方法,即使在低溫下也能實現穩定汽化。適用于包含 “High-k"工藝液體在內的一系列液體源的汽化。

        模型MV-2000
        液體材料除腐蝕不銹鋼的液體(例如 HCl、HF)之外的所有液體
        設定溫度按汽化條件(控制閥:最高140 ?C 汽化器:最高200 ?C)
        泄漏完整性≤1×10-8Pa·m3/s(He)
        內漏標準≤1×10-6 Pa·m3/s(He)
        接觸液體的部件不銹鋼316L
        溫度傳感器K 型熱電偶 (CA)
        耐壓性1兆帕(氣壓)
        標準配件液體入口:1/8 VCR 型外螺紋 載氣入口:1/4 VCR 型內螺紋 氣體出口:1/2 VCR 型外螺紋
        工作溫度15 - 50 攝氏度
        選項氣閥(內漏標準:≤1×10-9 Pa·m3/s(He))

        HORIBA堀場全新混合注入系統液體汽化器

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