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        Osaka大阪真空高性能進口輕型渦輪分子泵
        簡要描述:

        Osaka大阪真空TG240F高性能進口輕型渦輪分子泵
        Osaka大阪真空高性能進口輕型渦輪分子泵

        特點:
        高H2壓縮比
        在高背壓的情況下也可以連續運轉,排氣性能安定
        將電源控制器與分子泵一體化
        360度任意角度安裝
        耐振動,可移動正在運轉的真空泵

        • 產品型號:TG240F
        • 廠商性質:代理商
        • 更新時間:2025-04-19
        • 訪  問  量:194

        詳細介紹

        Osaka大阪真空高性能進口輕型渦輪分子泵

        Osaka大阪真空高性能進口輕型渦輪分子泵


        • 輕巧設計

        • 節能

        • 迅速啟動

        • 使用破控功能可迅速停止

        • 耐大氣沖擊能力強
          經400次大氣沖擊驗證

        • 多種通信模式

        • 符合安全規格NRTL/SEMI-S2/CE

        用途

        • 半導體制造

        • 電子槍排氣,離子源排氣

        • FPD制造

        • 表面處理,表面改質

        • 各種電子部件的制造

        • 分析,試驗裝置

        • 管球制造,光學部件制造

        • 加速器,放射線設施,核聚變研究

        • 熱處理

        • 研究開發

        ※排放腐蝕性氣體時,請選擇耐腐蝕性的TG-M,TG系列。



        型號TG240F
        吸氣口法蘭 CF100/ISO-R100
        排氣速度N2 (L/s)240
        N2(附帶保護金屬網) (L/s)230
        H2 (L/s)160
        最大壓縮比N21×108
        H24×104
        極限壓力ISO-R(Pa/Torr)<1×10-6/<7.5×10-9
        CF(Pa/Torr)<5×10-7/<3.8×10-9
        最大氣體流量※1N2 (sccm)70
        啟動時間(min) 5.5-6
        允許輔助壓力(Pa/Torr)700/5.3
        推薦輔助泵(L/min)≧80
        安裝角度任意
        重量ISO-R/CF(kg) 7.3/10.5
        控制器型號TC245(一體型)※2
        輸入電壓(V)DC24V
        所需最大電力(W)75W

        ※1:輔助泵的容量是80L/min情況下的最大容許流量
        ※2:可選擇泵和控制器一體型(TC245)或者是分離式型(TC246)

        [ 對應氣體種類 ]

        由于排氣的氣體種類不同,可能導致泵內零件的老化。關于對應的氣體種類請咨詢銷售人員。

        [ 使用環境溫度 ]

        極限壓力保證環境溫度是10~23℃。另外,容許環境溫度是8~38℃






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