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詳細介紹
Osaka大阪真空高性能全新復合渦輪分子泵
Osaka大阪真空高性能全新復合渦輪分子泵
輕巧設計
節(jié)能
迅速啟動
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強
經400次大氣沖擊驗證
多種通信模式
符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE
用途
半導體制造
電子槍排氣，離子源排氣
FPD制造
表面處理，表面改質
各種電子部件的制造
分析，試驗裝置
管球制造，光學部件制造
加速器，放射線設施，核聚變研究
熱處理
研究開發(fā)
※排放腐蝕性氣體時，請選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列。
| 吸氣口法蘭 | VG150 CF160 ISO-R160 | |
| 排氣速度 | N2(L/s) | 450 |
| N2(附加金屬保護網) (L/s) | 430 | |
| H2(L/s) | 240 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 2×103 | |
| 極限壓力 | Pa/Torr | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| 最大氣體流量※1 | N2 (sccm) | 500 |
| 啟動時間 | (min) | 2-2.5 |
| 停止時間 | (min) | 5-6.5 |
| 允許輔助壓力 | (Pa/Torr) | 260/2 |
| 推薦輔助泵 | (L/min) | ≧80 |
| 安裝角度 | 自在 | |
| 重量 | VG?ISO-B/CF(kg) | 7/10 |
※1：輔助泵的容量是160L/min情況下的最大容許流量
[ 使用環(huán)境溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10～32℃，水冷情況下是10～40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時容許冷卻水溫是10～35℃。
[ 對應氣體種類 ]
由于排氣的氣體種類不同，可能導致泵內零件的老化。關于對應的氣體種類請咨詢銷售人員。
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