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詳細介紹
Osaka大阪真空磁懸浮軸承型復合分子泵
Osaka大阪真空磁懸浮軸承型復合分子泵
■輕巧設計
■節能
■分子泵停止與啟動時間短
■附帶維護警報機能
■低振動
■無需調整
■自動校準
■可控制轉子旋轉速度
■大流量排氣
■多種通信模式
■符合安全規格 NRTL/SEMI-S2/CE
用途
?半導體制造?電子槍排氣，離子源排氣
?FPD制造
?表面處理，表面改質
?各種電子部件的制造
?分析，試驗裝置
?管球制造，光學部件制造
?加速器，放射線設施，核聚變研究
?熱處理
?研究開發
| 吸氣口法蘭 | VG100 CF100 ISO-B100 | |
| 排氣速度 | N2 (L/s) | 340 |
| N2(附加金屬保護網) (L/s) | 320 | |
| H2 (L/s) | 290 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4.5×103 | |
| 極限壓力 | VG?ISO-B/CF (Pa) | <1×10-6 / <1×10-7 |
| VG?ISO-B/CF (Torr) | <7.5×10-9 / <7.5×10-10 | |
| 最大氣體流量※1 | N2 (sccm) | 2000 |
| 啟動時間 | (min) | 2~3 |
| 停止時間 | (min) | 4~5 |
| 允許輔助壓力 | (Pa / Torr) | 400 / 3 |
| 推薦輔助泵 | (L/min) | ≧160 |
| 安裝角度 | 任意 | |
| 重量 | VG?ISO-B/CF(kg) | 14/17 |
| 特殊規格 | -耐腐蝕型 -耐反應生成物型 TG-MI -極低振動型 TG-ML | |
※1：輔助泵的容量是320L/min情況下的最大容許流量
[ 使用周囲溫度 ]
極限壓力保證環境溫度是10～23℃。另外，容許環境溫度在空冷情況下是10～32℃，水冷情況下是10～40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時容許冷卻水溫是10～35℃。
[ 對應氣體種類 ]
由于排氣的氣體種類不同，可能導致泵內零件的老化。
關于對應的氣體種類請咨詢銷售人員。
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