半導體設備ZSX Primus III NEXT日本理學Rigaku熒光射線分析儀
半導體設備日本理學Rigaku熒光射線分析儀

掃描式熒光射線分析儀
采用頂照法的掃描熒光射線分析儀，可在生產控制分析中發揮其威力。

電腦異常時測量時自動排出樣品功能

如果在測量分析樣品時操作系統出現故障，分析儀配備了保護功能，可防止分析樣品無意中長時間留在測量設備中，導致設備和樣品損壞。

設置用戶對軟件的訪問級別

可以為每個操作員設置軟件的訪問級別。這可以防止由于操作錯誤而導致數據庫更改或刪除。

快速分析

通過在X射線計數系統中安裝數字多通道分析儀（D-MCA：1024通道規格），我們通過高速數字處理實現了高達高計數率范圍的計數線性。通過高速數據處理和各驅動單元的高效控制，與傳統設備相比，定量分析的吞吐量提高了21%。

環保設計

?檢測器無需氣體

還可以安裝環保型輕元素氣體保護正比計數器（S-PC LE）。由于檢測器不需要供氣，因此即使在難以獲得或安裝高壓氣體的地方也可以安裝該裝置（可選）。

?節能設計

除了減少冷卻水量和PR氣體流量外，還具有在不進行分析時自動降低X射線輸出的節能操作功能以及自動斷電功能。

?加強對測量和分析的支持

我們加強了對經過驗證的ZSX Primus IV / ZSX Primus IVi軟件<ZSX Guidance>的常規分析，并充分利用D-MCA數據來提高準確性。另外，獲得的定量分析結果的誤差可以以標準差的形式顯示，可以有效地評價分析值的可靠性。
調度程序功能可簡化日常分析管理（自動啟動+自動漂移校正功能），大大減少分析工作前準備工作所需的人力。

擴展應用程序包

與旗艦機 ZSX Primus IV / ZSX Primus IVi 兼容的行業特定應用程序包也可以與該設備 ZSX Primus III NEXT 一起使用。

 輕松共享應用程序

通過與頂照式ZSX PrimusIV、ZSX Primus III NEXT和底照式ZSX Primus IVi創建通用的硬件和軟件平臺，可以在三個型號和同一型號之間輕松共享應用程序。