日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)設(shè)備化學(xué)氣相沉積設(shè)備

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)設(shè)備化學(xué)氣相沉積設(shè)備

單片PE-CVD設(shè)備CME-200E/400

單片式PE-CVD設(shè)備CME-200E/400是適合批量生產(chǎn)的PE-CVD設(shè)備，適合形成硅基絕緣膜、阻擋膜等。

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