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        日本ULVAC愛發科半導體灰化裝置NA系列
        簡要描述:

        日本ULVAC愛發Luminous NA-8000科半導體灰化裝置NA系列
        日本ULVAC愛發科半導體灰化裝置NA系列

        • 產品型號:Luminous NA-8000
        • 廠商性質:經銷商
        • 更新時間:2024-11-25
        • 訪  問  量:71

        詳細介紹

        日本ULVAC愛發科半導體灰化裝置NA系列

        日本ULVAC愛發科半導體灰化裝置NA系列


        灰化裝置LuminousNA系列

        Luminous NA 系列是一款不受晶圓尺寸限制的灰化系統,可以處理從關鍵的下一代晶圓工藝到晶圓級安裝工藝的各種工藝。


        特征

        • 可以執行關鍵的下一代晶圓工藝所需的1×10 16原子/cm 2或更高的無損傷離子注入剝離工藝和聚合物去除工藝。

        • 腔室配置適合氟基氣體添加工藝,使其無顆粒。因此,可以構建從普通PR到離子注入剝離、有機膜剝離(PI、DFR等)剝離、氧化膜蝕刻等廣泛的工藝。

        • 采用簡單的設備配置,同時實現了“出色的可維護性和可靠性"和“低成本"。

        • 可以實現靈活的腔室配置(μwave、RIE、μwave + RIE),并且可以選擇多種傳輸路線。

        • 晶圓尺寸只需通過配方設置即可更改,因此更改晶圓尺寸非常容易。

        目的

        • 離子注入剝離工藝(1 x 10 16原子/cm 2或更多)和前端工藝中的聚合物去除

        • 需要CF4添加工藝的晶圓工藝(電子元件/LED)

        • 芯片尺寸封裝和BUMP工藝

        • CCD彩色濾光片制造工藝

        規格

        模型兼容晶圓尺寸
        Luminous NA-8000100毫米、125毫米、150毫米和200毫米
        Luminous NA-1300200毫米和300毫米


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