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        日本ULVAC愛發(fā)科半導體干法刻蝕設備研發(fā)
        簡要描述:

        日本ULVAC愛發(fā)科NLD-570半導體干法刻蝕設備研發(fā)
        日本ULVAC愛發(fā)科半導體干法刻蝕設備研發(fā)

        • 產品型號:NLD-570
        • 廠商性質:代理商
        • 更新時間:2025-10-14
        • 訪  問  量:923

        詳細介紹

        日本ULVAC愛發(fā)科半導體干法刻蝕設備研發(fā)

        日本ULVAC愛發(fā)科半導體干法刻蝕設備研發(fā)


        NLD干法刻蝕設備研發(fā)NLD-570

        研發(fā)用NLD干法蝕刻 NLD-570是ULVAC原創(chuàng)開發(fā)的使用磁中性線等離子體(NLD)的低壓、低電子溫度、高密度等離子體的干法蝕刻裝置。


        特征

        • 與ICP法相比,NLD具有更低的壓力、更高的密度和更低的電子溫度等離子,因此適合加工石英、玻璃、晶體、LN、LT基板等。

        • 耐熱玻璃和硼硅酸鹽玻璃等雜質較多的玻璃可以蝕刻出優(yōu)異的形狀和表面光滑度。

        • 厚膜抗蝕劑還可用作石英和玻璃深蝕刻(100μm以上)的掩模。

        • 可進行高速蝕刻(石英>1μm/min、Pyrex>0.8μm/min)

        • 可以添加盒室。

        目的

        • 光學器件(衍射光柵、調制器、光波導、光開關等)、凹凸微透鏡、光子晶體、流體路徑(μ-TAS)創(chuàng)建等。


        特別提示:商品詳情頁中(含主圖)以文字或者圖片形式標注的搶購價等價格可能是在特定活動時段下的價格,商品的具體價格以訂單結算頁價格為準或者是您與商家聯(lián)系后協(xié)商達成的實際成交價格為準;如您發(fā)現(xiàn)活動商品價格或活動信息有異常,建議購買前先咨詢商家。


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